Registration Number
0418U005020, Candidate dissertation
Status
Кандидат фізико-математичних наук
Date
21-11-2018
popup.evolution
.
Title
Transient and reversible photo-stimulated transformations in films of chalcogenide vitreous semiconductors and interference lithography on their basis.
Author
Lukaniuk Mariia Vasylivna,
popup.head Danko Viktor Andriiovych
popup.opponent Kadan Viktor Mykolaiovych
popup.opponent Homonnai Oleksander Vasylovych
popup.rada
V. Lashkaryov Institute of semiconductor physics
Description
В дисертації викладено результати досліджень фотостимульованих ефектів, які спостерігаються в тонких відпалених плівках халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН), а саме послідовного позитивного фоторезистивного процесу та явища фототравлення. Описано явище фототравлення у відпалених плівках ХСН, суть якого полягає у фотостимульованому підвищенні розчинності експонованих ділянок плівок ХСН при їх одночасному експонуванні та травленні, причому, на відміну від традиційної літографії, в даному випадку спостерігається позитивний тип травлення при застосуванні тих же протравлювачів. Також було встановлено, що достатня селективність для проведення літографічного процесу притаманна відпаленим плівкам ХСН при послідовному експонуванні та травленні. Досліджено феноменологію та запропоновано механізми досліджуваних ефектів фототравлення та послідовного фоторезистивного процесу у відпалених плівках ХСН. Розроблено фоторезисти на основі ефектів фототравлення та послідовного фоторезистивного травлення, а також реалізовано технологію інтерференційної фотолітографії з використанням даних фоторезистів. Продемонстровано, що застосування процесів на перехідних та реверсивних фотостимульованих перетвореннях у відпалених шарах ХСН в інтерференційній літографії дозволяє використовувати більш екологічно прийнятні неорганічні фоторезисти на основі германієвовмісних халькогенідних сполук, отримувати періодичні 1-D та 2-D структури з високою якістю поверхні та однорідністю на підкладках великої площі. При поєднанні методів інтерференційної літографії та імерсії з використанням фоторезистів на основі відпалених плівок ХСН можна отримувати структури з нанорозмірними елементами. Розроблені літографічні процеси дозволяють формувати різноманітні періодичні структури, зокрема, дифракційні періодичні структури, субхвильові металеві структури, мікропрофільовані пластини, плазмонні структури (сенсорні чипи з підвищеною чутливістю) на підкладках великої площі та оптичні сигналограми.
Registration Date
2018-12-07
popup.nrat_date
2020-04-03 / 2026-06-29
