Search academic texts

Registration Number

0419U002480, Candidate dissertation

Title

Properties of the chemically active plasma of capacitive high-frequency discharge in controlled magnetic fields

Author

Hladkovskyi Volodymyr V.,

popup.head Fedorovich Oleg A.
popup.opponent Zykov Oleksandr V.
popup.opponent Chernyak Valerіy Ya.

Status

Кандидат фізико-математичних наук, 01.04.08, Фізика плазми

Date

13-05-2019

Description

Робота присвячена дослідженню параметрів високочастотного ємнісного розряду в керованих магнітних полях. Запропоновано механізм, який пояснює зменшення швидкості травлення кремнію від напруги автозміщення і зміщення. В основі даного механізму лежить ефект розпорошення конструкцій плазмохімічного реактора, який призводить до блокування оброблюваної поверхні атомами металів. Досліджено вплив магнітного поля на анізотропію та швидкість травлення кремнію. Встановлено лінійний механізм росту швидкості травлення кремнію від напруженості магнітного поля. Виявлено, що анізотропією профілю травлення можна керувати з допомогою магнітного поля. Вперше вивчена зміна спектрів випромінювання плазми ВЧЄ розряду в залежності від керованої напруги зміщення. Встановлено, що з ростом величини негативної напруги автозміщення понад 200 В на спектрах випромінювання плазми з'являються лінії збуджених атомів металів. При цьому молекулярні смуги та атомарні лінії, які належать продуктам дисоціації робочого газу, практично не спостерігаються.