Search academic texts

Information × Registration Number 0419U002480, Candidate dissertation Status Кандидат фізико-математичних наук Date 13-05-2019 popup.evolution o Title Properties of the chemically active plasma of capacitive high-frequency discharge in controlled magnetic fields Author Hladkovskyi Volodymyr V., popup.head Fedorovich Oleg A. popup.opponent Zykov Oleksandr V. popup.opponent Chernyak Valerіy Ya. Description Робота присвячена дослідженню параметрів високочастотного ємнісного розряду в керованих магнітних полях. Запропоновано механізм, який пояснює зменшення швидкості травлення кремнію від напруги автозміщення і зміщення. В основі даного механізму лежить ефект розпорошення конструкцій плазмохімічного реактора, який призводить до блокування оброблюваної поверхні атомами металів. Досліджено вплив магнітного поля на анізотропію та швидкість травлення кремнію. Встановлено лінійний механізм росту швидкості травлення кремнію від напруженості магнітного поля. Виявлено, що анізотропією профілю травлення можна керувати з допомогою магнітного поля. Вперше вивчена зміна спектрів випромінювання плазми ВЧЄ розряду в залежності від керованої напруги зміщення. Встановлено, що з ростом величини негативної напруги автозміщення понад 200 В на спектрах випромінювання плазми з'являються лінії збуджених атомів металів. При цьому молекулярні смуги та атомарні лінії, які належать продуктам дисоціації робочого газу, практично не спостерігаються. Registration Date 2019-05-13 popup.nrat_date 2020-04-03 Close