Search academic texts

Information × Registration Number 0421U100515, Candidate dissertation Status Кандидат технічних наук Date 12-03-2021 popup.evolution o Title Technological quality assurance of substrates of functional components of microoptoelectromechanical systems Author Chala Olena , popup.head Filipenko Oleksandr Ivanovych popup.opponent Pritchin Sergey Emilovych popup.opponent Protsenko Maksym Anatoliiovych Description Дисертаційна робота присвячена вирішенню актуальної науково-прикладної задачі підвищення якості ФК (функціональних компонентів) МОЕМС (мікроелектромеханічних систем) за рахунок технологічного забезпечення, розробки та удосконалення методів прогнозування й оцінки характеристик підкладок ФК МОЕМС. Розроблено моделі та метод забезпечення якості підкладок ФК МОЕМС, які дозволяють прогнозувати стан підкладок ФК під впливом технологічних факторів під час їх виготовлення. Розроблено модель впливу параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на параметри формоутворення ФК MOEMС, що дозволяє визначити величину вихідних параметрів для отримання заданих чисельних значень шорсткості. Розроблено технологічний процес контролю підкладок ФК МОЕМС, що направлений на підвищення точності та відтворюваності інформації, зниження трудомісткості. Створено експериментальний макет і проведено дослідження запропонованих методів. У результаті проведених експериментальних досліджень отримано дані, які дали змогу дати оцінку вплив параметрів ФК МОЕМС-перемикачів на розсіювання оптичної потужності. Отримано результати, відповідно до яких можна провести побудову й аналіз залежностей вихідних параметрів підкладок ФК МОЕМС на розсіювання оптичної потужності. На основі проведених досліджень розроблено технологічний процес виготовлення підкладок ФК МОЕМС. Registration Date 2021-03-17 popup.nrat_date 2021-03-17 Close