Реєстраційний номер
0421U100515, Кандидатська дисертація
На здобуття
Кандидат технічних наук
Дата захисту
12-03-2021
Статус
Захищена
Назва роботи
Технологічне забезпечення якості підкладок функціональних компонентів мікрооптоелектромеханічних систем
Здобувач
Чала Олена Олександрівна,
Керівник Филипенко Олександр Іванович
Опонент Притчин Сергій Емільович
Опонент Проценко Максим Анатолійович
Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист
Харківський національний університет радіоелектроніки
Опис
Дисертаційна робота присвячена вирішенню актуальної науково-прикладної задачі підвищення якості ФК (функціональних компонентів) МОЕМС (мікроелектромеханічних систем) за рахунок технологічного забезпечення, розробки та удосконалення методів прогнозування й оцінки характеристик підкладок ФК МОЕМС. Розроблено моделі та метод забезпечення якості підкладок ФК МОЕМС, які дозволяють прогнозувати стан підкладок ФК під впливом технологічних факторів під час їх виготовлення. Розроблено модель впливу параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на параметри формоутворення ФК MOEMС, що дозволяє визначити величину вихідних параметрів для отримання заданих чисельних значень шорсткості. Розроблено технологічний процес контролю підкладок ФК МОЕМС, що направлений на підвищення точності та відтворюваності інформації, зниження трудомісткості. Створено експериментальний макет і проведено дослідження запропонованих методів. У результаті проведених експериментальних досліджень отримано дані, які дали змогу дати оцінку вплив параметрів ФК МОЕМС-перемикачів на розсіювання оптичної потужності. Отримано результати, відповідно до яких можна провести побудову й аналіз залежностей вихідних параметрів підкладок ФК МОЕМС на розсіювання оптичної потужності. На основі проведених досліджень розроблено технологічний процес виготовлення підкладок ФК МОЕМС.
Дата реєстрації
2021-03-17
Додано/оновлено в НРАТ
2021-03-17 / 2026-06-30
