Search academic texts

Information × Registration Number 0494U002353, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 14-12-1993 popup.evolution o Title Author Свиридов Виктор Михайлович, popup.head Ройзин Я.О. popup.opponent Кив А.Ю. popup.opponent Зотов В.В. Description Объект исследования: Тонкие пленки аморфоного гидрированного кремния. Цель исследования: Изучение электронных свойств структурных неоднородностей и внедрение методик исследования. Методы исследования и аппаратура: Ртутные сканирующие зонды и оригинальные электронные устройства. Теоретические результаты и новизна: Впервые проведена классификация неоднородностей электрических свойств пленок на плоскости. Практические результаты и новизна: Разработаны устройства и методики, которые помогли определить технологические параметры нанесения пленок. Сфера (область) использования: Микроэлектроника. Registration Date 1993-12-14 popup.nrat_date 2020-05-17 Close