Кандидатська дисертація. Свиридов Виктор Михайлович. Влияние структурных неоднородностей на электронные свойства амофного гидрированного кремния

Registration Number

0494U002353, Candidate dissertation

Status

к.ф.-м.н.

Date

14-12-1993

popup.evolution

.

Title

Author

Свиридов Виктор Михайлович,

popup.head Ройзин Я.О.
popup.opponent Кив А.Ю.
popup.opponent Зотов В.В.

popup.rada

Description

Объект исследования: Тонкие пленки аморфоного гидрированного кремния. Цель исследования: Изучение электронных свойств структурных неоднородностей и внедрение методик исследования. Методы исследования и аппаратура: Ртутные сканирующие зонды и оригинальные электронные устройства. Теоретические результаты и новизна: Впервые проведена классификация неоднородностей электрических свойств пленок на плоскости. Практические результаты и новизна: Разработаны устройства и методики, которые помогли определить технологические параметры нанесения пленок. Сфера (область) использования: Микроэлектроника.

Registration Date

1999-09-16

popup.nrat_date

2020-05-18 / 2026-06-30