Search academic texts

Information × Registration Number 0495U003053, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 28-06-1995 popup.evolution o Title Author Теслюк Василий Николаевич, popup.head Коваль В.О. popup.opponent Савицкий В.Г. popup.opponent Романышин Ю.М. Description Объект исследования: Технологический процесс изготовления интегральных схем. Цель исследования: Разработка эффективных алгоритмов и моделей анализа технологических процессов и ПМК для автоматизированного проектирования. Методы исследования и аппаратура: Системный анализ, математическое моделирование математической физики, вычислительная техника и прикладное программирование. Теоретические результаты и новизна: Модели технологических операций и рельефа п/п структуры, входной язык, оперативная база данных; алгоритм моделирвоания технологических маршрутов. Практические результаты и новизна: Программно-методический комплекс, библиотека математических моделей и экспериментальные исследования процессов в оборудовании. Предмет и степень внедрения: Методика, программный комплекс - впроектировании ИС. Эффективность внедрения: Ожидаемый суммарный экологический эффект составляет свыше 41 тыс. крб (в ценах 1990 г.). Сфера (область) использования: Организации, котрые проектируют и изготавливают ИС. Registration Date 1995-06-28 popup.nrat_date 2020-05-17 Close