Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0495U003053, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 28-06-1995 Статус Запланована Назва роботи Моделирование и анализ процессов формирования технологических слоев ИС в приборно-технологических САПР Здобувач Теслюк Василий Николаевич, Керівник Коваль В.О. Опонент Савицкий В.Г. Опонент Романышин Ю.М. Опис Объект исследования: Технологический процесс изготовления интегральных схем. Цель исследования: Разработка эффективных алгоритмов и моделей анализа технологических процессов и ПМК для автоматизированного проектирования. Методы исследования и аппаратура: Системный анализ, математическое моделирование математической физики, вычислительная техника и прикладное программирование. Теоретические результаты и новизна: Модели технологических операций и рельефа п/п структуры, входной язык, оперативная база данных; алгоритм моделирвоания технологических маршрутов. Практические результаты и новизна: Программно-методический комплекс, библиотека математических моделей и экспериментальные исследования процессов в оборудовании. Предмет и степень внедрения: Методика, программный комплекс - впроектировании ИС. Эффективность внедрения: Ожидаемый суммарный экологический эффект составляет свыше 41 тыс. крб (в ценах 1990 г.). Сфера (область) использования: Организации, котрые проектируют и изготавливают ИС. Дата реєстрації 1995-06-28 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити