Search academic texts

Information × Registration Number 0496U000597, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 09-04-1996 popup.evolution o Title Author Алексеев Александр Евгеньевич, popup.head Герасимов А.И. popup.head Федчук А.П. popup.opponent Стриха В.И. popup.opponent новиков В.В. Description Объект исследования: Монокристаллические кремниевые подкладники и их приповерхностный нарушенный слой (ПНС). Цель исследования: Разработка модели, которая однопозиционно описывает распределение микродефектов в ПНС при разных условиях его создания. Методы исследования и аппаратура: Метод измерения локальной фотоЕРС, метод С-У характеристик в комплексе с послойным. Теоретические результаты и новизна: установлено, что структура ПНС является мультифрактальной, предложена точно рассчитанная модель локальной фотоЕРС. Практические результаты и новизна: Предложена методика определения распределения микродефектов в приповерхностном нарушенном слое. Предмет и степень внедрения: Результаты изложены в публикациях научных изданий и материалах конференций. Эффективность внедрения: Результаты позволяют осуществиить экспрессный прогноз выхода качественных изделий в микроэлектронике. Сфера (область) использования: Экспрессная диагностика полупроводниковых подкладок, сенсоры. Registration Date 1996-04-09 popup.nrat_date 2020-05-17 Close