Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0496U000597, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 09-04-1996 Статус Запланована Назва роботи Структурные свойства приповерхностного нарушенного слоя монокристаллов кремния Здобувач Алексеев Александр Евгеньевич, Керівник Герасимов А.И. Керівник Федчук А.П. Опонент Стриха В.И. Опонент новиков В.В. Опис Объект исследования: Монокристаллические кремниевые подкладники и их приповерхностный нарушенный слой (ПНС). Цель исследования: Разработка модели, которая однопозиционно описывает распределение микродефектов в ПНС при разных условиях его создания. Методы исследования и аппаратура: Метод измерения локальной фотоЕРС, метод С-У характеристик в комплексе с послойным. Теоретические результаты и новизна: установлено, что структура ПНС является мультифрактальной, предложена точно рассчитанная модель локальной фотоЕРС. Практические результаты и новизна: Предложена методика определения распределения микродефектов в приповерхностном нарушенном слое. Предмет и степень внедрения: Результаты изложены в публикациях научных изданий и материалах конференций. Эффективность внедрения: Результаты позволяют осуществиить экспрессный прогноз выхода качественных изделий в микроэлектронике. Сфера (область) использования: Экспрессная диагностика полупроводниковых подкладок, сенсоры. Дата реєстрації 1996-04-09 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити