Search academic texts

Information × Registration Number 0496U001034, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 24-06-1996 popup.evolution o Title Author Тищенко Григорий Дмитриевич, popup.head Сидоренко С.И. popup.opponent Гречанюк Н.И. popup.opponent Васильев М.А. Description Объект исследования: Металлические и металлосодержащие слои на подложках моносталического кремния. Цель исследования: Влияние альфа-облучения на структуру и физические свойства металлические и металлосодержащих слоев и разработка новой технологии производства чувствительных элементов сенсоров. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные и теоретические. Оже-спектроскопия, рентгено-структурный анализ, растровая электронная микроскопия и ионные микрозонды. Теоретические результаты и новизна: Установлены механизмы образования кластеров, выяснена природа ад-центра кислорода, установлена связь селективности реагирования со структурами поверхностей. Практические результаты и новизна: Получены новые матемриалы для серии электронных приборов нового типа. Предмет и степень внедрения: Изготовлены экспериментальные образцы интегральных мультисенсоров. Эффективность внедрения: Результаты исследований позволили подготовить к внедрению новый класс приборов. Сфера (область) использования: Микроэлектроника, машиностроение. Registration Date 1996-06-24 popup.nrat_date 2020-05-17 Close