Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0496U001034, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 24-06-1996 Статус Запланована Назва роботи Структура, свойства и стабильность металлических и металлосодержащих слоев в интегральных мультисенсорах Здобувач Тищенко Григорий Дмитриевич, Керівник Сидоренко С.И. Опонент Гречанюк Н.И. Опонент Васильев М.А. Опис Объект исследования: Металлические и металлосодержащие слои на подложках моносталического кремния. Цель исследования: Влияние альфа-облучения на структуру и физические свойства металлические и металлосодержащих слоев и разработка новой технологии производства чувствительных элементов сенсоров. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные и теоретические. Оже-спектроскопия, рентгено-структурный анализ, растровая электронная микроскопия и ионные микрозонды. Теоретические результаты и новизна: Установлены механизмы образования кластеров, выяснена природа ад-центра кислорода, установлена связь селективности реагирования со структурами поверхностей. Практические результаты и новизна: Получены новые матемриалы для серии электронных приборов нового типа. Предмет и степень внедрения: Изготовлены экспериментальные образцы интегральных мультисенсоров. Эффективность внедрения: Результаты исследований позволили подготовить к внедрению новый класс приборов. Сфера (область) использования: Микроэлектроника, машиностроение. Дата реєстрації 1996-06-24 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити