Search academic texts

Information × Registration Number 0496U001143, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 28-06-1996 popup.evolution o Title Author Красуля Сергей Михайлович, popup.head Хрупа В.И. popup.head Мачулин В.Ф. popup.opponent Блонский И.В. popup.opponent Прокопенко И.В. Description Объект исследования: Монокристаллический кремний. Цель исследования: Исследование процессов рассеяния рентгеновского излучения в кристаллах с произвольной дефектной структурой. Методы исследования и аппаратура: рентгеновская дифрактометрия. Теоретические результаты и новизна: Обнаружение немонотонности характера зависимости относительно прироста ИОС от порядка рефлекса в геометрии Брэгга. Практические результаты и новизна: Разработка однокристального безэталонного методаструктурной диагностики полупроводниковых монокристаллов. Предмет и степень внедрения: Публикации в научных изданиях и материалах конференций. Эффективность внедрения: Метод позволяет повысить экспресность и достоверность получаемой на ОКС информации. Сфера (область) использования: Лаборатории предприятий полупроводниковой промышленности. Registration Date 1996-06-28 popup.nrat_date 2020-05-17 Close