Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0496U001143, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 28-06-1996 Статус Запланована Назва роботи Влияние структурных искажений в реальных кристаллах кремния на параметры динамической Брэг- и Лауэ-дифракции рентгеновских лучей Здобувач Красуля Сергей Михайлович, Керівник Хрупа В.И. Керівник Мачулин В.Ф. Опонент Блонский И.В. Опонент Прокопенко И.В. Опис Объект исследования: Монокристаллический кремний. Цель исследования: Исследование процессов рассеяния рентгеновского излучения в кристаллах с произвольной дефектной структурой. Методы исследования и аппаратура: рентгеновская дифрактометрия. Теоретические результаты и новизна: Обнаружение немонотонности характера зависимости относительно прироста ИОС от порядка рефлекса в геометрии Брэгга. Практические результаты и новизна: Разработка однокристального безэталонного методаструктурной диагностики полупроводниковых монокристаллов. Предмет и степень внедрения: Публикации в научных изданиях и материалах конференций. Эффективность внедрения: Метод позволяет повысить экспресность и достоверность получаемой на ОКС информации. Сфера (область) использования: Лаборатории предприятий полупроводниковой промышленности. Дата реєстрації 1996-06-28 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити