Search academic texts

Information × Registration Number 0496U002007, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 06-12-1995 popup.evolution o Title Author Волоконская Анжела Анатольевна, popup.head Бажин А.И. popup.head Теплов С.В. popup.opponent Лозовский В.З. popup.opponent Мелихов Ю.В. Description Объект исследования: Тонкие пленки, получаемые ионно-плазменными методами. Цель исследования: Разработка методов расчета стехиометрического состава пленки. Методы исследования и аппаратура: Численное моделирование. Теоретические результаты и новизна: Предложенные модели позволяют оптимизировать входные параметры ионно-плазменных установок. Практические результаты и новизна: Создание программы позволяют расчитывать концентрационный профиль подложки и пленки для систем С-Si, C-Ni, C-Au, Ag-Cu, Ag-Mo, Ti-Fe. Предмет и степень внедрения: Результаты внедряются при синтезе тонких пленок ионно-плазменными методами. Эффективность внедрения: Разработанные методы позволяют получать пленки с необходимыми свойствами. Сфера (область) использования: Микроэлектроника. Registration Date 1995-12-06 popup.nrat_date 2020-05-17 Close