Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0496U002007, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 06-12-1995 Статус Запланована Назва роботи Моделирование процессов нанесения тонкопленочных покрытий ионно-плазменными методами Здобувач Волоконская Анжела Анатольевна, Керівник Бажин А.И. Керівник Теплов С.В. Опонент Лозовский В.З. Опонент Мелихов Ю.В. Опис Объект исследования: Тонкие пленки, получаемые ионно-плазменными методами. Цель исследования: Разработка методов расчета стехиометрического состава пленки. Методы исследования и аппаратура: Численное моделирование. Теоретические результаты и новизна: Предложенные модели позволяют оптимизировать входные параметры ионно-плазменных установок. Практические результаты и новизна: Создание программы позволяют расчитывать концентрационный профиль подложки и пленки для систем С-Si, C-Ni, C-Au, Ag-Cu, Ag-Mo, Ti-Fe. Предмет и степень внедрения: Результаты внедряются при синтезе тонких пленок ионно-плазменными методами. Эффективность внедрения: Разработанные методы позволяют получать пленки с необходимыми свойствами. Сфера (область) использования: Микроэлектроника. Дата реєстрації 1995-12-06 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити
Дисертація кандидатська
Моделирование процессов нанесения тонкопленочных покрытий ионно-плазменными методами
Волоконская Анжела Анатольевна. Моделирование процессов нанесения тонкопленочных покрытий ионно-плазменными методами : к.ф.-м.н. : спец.. 01.04.07 - Фізика твердого тіла : дата захисту 1995-12-06; Статус: Захищена; Донецкий государственный университет. – , 0496U002007.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку