Search academic texts

Information × Registration Number 0497U004661, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 27-06-1997 popup.evolution o Title Author Ничий Сергей Васильевич, popup.head Раренко И.М. popup.opponent Савицкий В.Г. popup.opponent Фодчук И.М. Description Объект исследования: Термически отожженные и облученные материалы и пленки. Цель исследования: Закономерности оптических свойств материалов, обусловленных внешними факторами, разработать методику получения пленки. Методы исследования и аппаратура: Рентгенографические, оптические, электрофизические, лазеры, ЭВМ. Теоретические результаты и новизна: Установлены закономерности технологических режимов получения пленок и воздействия лазерного облучения на материалы. Практические результаты и новизна: Разработана методика получения пленок, предложены оптимальные режимы отжига материалов. Предмет и степень внедрения: Внедрение метода получения пленок. Эффективность внедрения: Уменьшение энергозатрат, улучшение оптических свойств материалов, получение пленок. Сфера (область) использования: Технология полупроводниковых материалов. Registration Date 1997-06-27 popup.nrat_date 2020-05-17 Close