Registration Number
0497U004661, Candidate dissertation
Status
к.ф.-м.н.
Date
27-06-1997
popup.evolution
.
Title
Author
Ничий Сергей Васильевич,
popup.head Раренко И.М.
popup.opponent Савицкий В.Г.
popup.opponent Фодчук И.М.
popup.rada
Description
Объект исследования: Термически отожженные и облученные материалы и пленки. Цель исследования: Закономерности оптических свойств материалов, обусловленных внешними факторами, разработать методику получения пленки. Методы исследования и аппаратура: Рентгенографические, оптические, электрофизические, лазеры, ЭВМ. Теоретические результаты и новизна: Установлены закономерности технологических режимов получения пленок и воздействия лазерного облучения на материалы. Практические результаты и новизна: Разработана методика получения пленок, предложены оптимальные режимы отжига материалов. Предмет и степень внедрения: Внедрение метода получения пленок. Эффективность внедрения: Уменьшение энергозатрат, улучшение оптических свойств материалов, получение пленок. Сфера (область) использования: Технология полупроводниковых материалов.
Registration Date
1998-04-14
popup.nrat_date
2020-05-18 / 2026-06-30
