Search academic texts

Information × Registration Number 0498U001099, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 14-05-1998 popup.evolution o Title Author Кошман А.Р., popup.head Шаповалов В.П. popup.opponent Левинзон Д.И. popup.opponent Манько В.К. Description Объект исследования: Кристаллы кремния, структуры кремний-диоксид кремния, диодные структуры на базе кремния. Цель исследования: Выяснение механизмов процессов влияния атомарного водорода на кремний и кремниевые структуры. Методы исследования и аппаратура: Высокочастотные ВФХ, ВАХ, метод инжекции-экстракции, интерференционные методы, мат.модел. Теоретические результаты и новизна: Получены новые оригинальные результаты взаимодействия атомарного водорода с решеткой, дефектами и примесями в кристаллах кремния. Предмет и степень внедрения: Созданы предпосылки для разработки и внедрения новых высоких технологий микроэлектроники. Сфера (область) использования: Предприятия электронной промышленности. Registration Date 1998-05-14 popup.nrat_date 2020-05-17 Close