Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0498U001099, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 14-05-1998 Статус Запланована Назва роботи Исследование процессов влияния атомарного водорода на электрическую прочность кремниевых р-п переходов и на границу раздела кремний - диоксид кремния Здобувач Кошман А.Р., Керівник Шаповалов В.П. Опонент Левинзон Д.И. Опонент Манько В.К. Опис Объект исследования: Кристаллы кремния, структуры кремний-диоксид кремния, диодные структуры на базе кремния. Цель исследования: Выяснение механизмов процессов влияния атомарного водорода на кремний и кремниевые структуры. Методы исследования и аппаратура: Высокочастотные ВФХ, ВАХ, метод инжекции-экстракции, интерференционные методы, мат.модел. Теоретические результаты и новизна: Получены новые оригинальные результаты взаимодействия атомарного водорода с решеткой, дефектами и примесями в кристаллах кремния. Предмет и степень внедрения: Созданы предпосылки для разработки и внедрения новых высоких технологий микроэлектроники. Сфера (область) использования: Предприятия электронной промышленности. Дата реєстрації 1998-05-14 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити
Дисертація кандидатська
Исследование процессов влияния атомарного водорода на электрическую прочность кремниевых р-п переходов и на границу раздела кремний - диоксид кремния
Кошман А.Р.. Исследование процессов влияния атомарного водорода на электрическую прочность кремниевых р-п переходов и на границу раздела кремний - диоксид кремния : к.ф.-м.н. : спец.. 01.04.10 - Фізика напівпровідників і діелектриків : дата захисту 1998-05-14; Статус: Захищена; Запорожский государственный технический университет. – , 0498U001099.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку