Registration Number
0499U000120, Candidate dissertation
Status
к.т.н.
Date
14-01-1999
popup.evolution
.
Title
Author
Хондожко Сергей Иванович,
popup.head Гонтарь А.Г.
popup.opponent Матвеева Л.А.
popup.opponent Бондарь И.В.
popup.rada
Description
Объект исследования: Плазмохимическое осаждение пленок аморфного гидрогенизированного углерода, их механические и защитные свойства. Цель исследования: Создание защитного покрытия для защиты рабочих поверхностей деталей оптики и электроники от действия агрессивных факторов. Методы исследования и аппаратура: Наноиндентирование, оптическая спектрометрия, атомная силовая микроскопия, растровая электронная и оптическая микроскопия. Теоретические результаты и новизна: Установлены закономерности влияния напряжения автосмешения и состава рабочей газовой смеси на структурообразование, механические и защитные свойства а-С:Н пленок. Практические результаты и новизна: Создана технология осаждения из ВЧ-плазмы алмазоподобных покрытий, характеризующихся высокой твердостью, адгезионной прочностью, износостойкостью и химической инертностью. Предмет и степень внедрения: Изготовлено химически стойкое барьерное покрытие нагревающего слоя термоструйного картриджа. Эффективность внедрения: Ресурс нагревающего элемента струйного картриджа увеличивается в 10 раз. Сфера (область) использования: Микроэлектроника и приборостроение.
Registration Date
1999-03-03
popup.nrat_date
2020-05-17 / 2026-06-30
