Search academic texts

Information × Registration Number 0499U002434, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 23-09-1999 popup.evolution o Title Main ways of achieving maximum capabilities of the ellipsometry method Author Bobro Valerij Vasyl'ovych, popup.head Семененко А.І. popup.opponent Шайкевич I.А. popup.opponent Погребняк О.А. Description Елiпсометри. Розробленi способи подолання основних труднощiв на шляху практичної реалiзацiї однозонної методики елiпсометричних вимiрювань та запропоновано нову метрологiю в елiпсометрiї.Намiчена схема проведення метрологiчних робiт. Розроблено методи розвязання зворотноє задачi елiпсометрiї. Показано, що статистичний пiдхiд до розвязання некоректної задачi елiпсометрiї для надтонких поверхневих плiвок, який пропонуї новi критерiє вибору оптимальноє точки, приводить до сталих результатiв i дозволяї успiшно дослiджувати поверхневi плiвки товщиною вiд 2 до 10 нм. Registration Date 2000-10-06 popup.nrat_date 2021-03-17 Close