Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0499U002434, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 23-09-1999 Статус Запланована Назва роботи Основнi шляхи досягнення граничних можливостей методу елiпсометрiї Здобувач Бобро Валерій Васильович, Керівник Семененко А.І. Опонент Шайкевич I.А. Опонент Погребняк О.А. Опис Елiпсометри. Розробленi способи подолання основних труднощiв на шляху практичної реалiзацiї однозонної методики елiпсометричних вимiрювань та запропоновано нову метрологiю в елiпсометрiї.Намiчена схема проведення метрологiчних робiт. Розроблено методи розвязання зворотноє задачi елiпсометрiї. Показано, що статистичний пiдхiд до розвязання некоректної задачi елiпсометрiї для надтонких поверхневих плiвок, який пропонуї новi критерiє вибору оптимальноє точки, приводить до сталих результатiв i дозволяї успiшно дослiджувати поверхневi плiвки товщиною вiд 2 до 10 нм. Дата реєстрації 2000-10-06 Додано в НРАТ 2021-03-17 Закрити
Дисертація кандидатська
Основнi шляхи досягнення граничних можливостей методу елiпсометрiї
Бобро Валерій Васильович. Основнi шляхи досягнення граничних можливостей методу елiпсометрiї : к.ф.-м.н. : спец.. 01.04.01 - Фізика приладів, елементів і систем : дата захисту 1999-09-23; Статус: Захищена; Інститут прикладної фізики НАН України. – , 0499U002434.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-18


Роздрукувати цю сторінку