Search academic texts

Information × Registration Number 0502U000356, Doctoral dissertation Status д.т.н. Date 25-09-2002 popup.evolution o Title Methods and instrumentation of structurally geometrical perfection of semiconductor materials and structures in requirements of their serial production. Author Oksanych Anatolij Petrovych, popup.head Gordiyenko Yurij Omelyanovych popup.opponent Невлюдов Ігор Шакірович popup.opponent Костенко Віталій Леонідович popup.opponent Новіков Микола Миколайович Description Дисертація присвячена розробці науковообгрунтованих методів для контролю деформацій, механічних напруг структурної досконалості і створення на їх основі принципів конструювання вимірювального ростового обладнання, яке дозволяє безруйнівним способом експресно, контролювати на усіх стадіях напівпровідникового виробництва геометричні параметри і внутрішню напругу напівпровідникових пластин і структур, а також створенню апаратури для контролю структурної досконалості напівпровідникових кристалів в процесі вирощування. Registration Date 2002-09-25 popup.nrat_date 2020-04-04 Close