Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0502U000356, Докторська дисертація На здобуття д.т.н. Дата захисту 25-09-2002 Статус Запланована Назва роботи Методи і апаратура контролю структурно- геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів і структур в умовах їх серійного виробництва Здобувач Оксанич Анатолій Петрович, Керівник Гордієнко Юрій Омелянович Опонент Невлюдов Ігор Шакірович Опонент Костенко Віталій Леонідович Опонент Новіков Микола Миколайович Опис Дисертація присвячена розробці науковообгрунтованих методів для контролю деформацій, механічних напруг структурної досконалості і створення на їх основі принципів конструювання вимірювального ростового обладнання, яке дозволяє безруйнівним способом експресно, контролювати на усіх стадіях напівпровідникового виробництва геометричні параметри і внутрішню напругу напівпровідникових пластин і структур, а також створенню апаратури для контролю структурної досконалості напівпровідникових кристалів в процесі вирощування. Дата реєстрації 2002-09-25 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити
Дисертація докторська
Методи і апаратура контролю структурно- геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів і структур в умовах їх серійного виробництва
1
Оксанич Анатолій Петрович. Методи і апаратура контролю структурно- геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів і структур в умовах їх серійного виробництва : д.т.н. : спец.. 05.27.06 - Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки : дата захисту 2002-09-25; Статус: Захищена; Інститут економіки та нових технологій. – , 0502U000356.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку