Search academic texts

Information × Registration Number 0504U000167, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 26-03-2004 popup.evolution o Title The tunnel injection and emission of electrons in layered semiconductor structures on silicon. Author Evtukh Anatoli Antonovich, popup.head Litovchenko Vladimir Grygorovich popup.opponent Лисенко Володимир Сергійович popup.opponent Блонський Іван Васильович popup.opponent Ільченко Василь Васильович Description Досліджені процеси тунельної інжекції в тверде тіло та тунельної емісії електронів в вакуум в шаруватих структурах на кремнії. Встановлено основні закономірності тунельного проходження електронів через надтонкі плівки двоокису кремнію і алмазоподібні вуглецеві плівки, шаруваті структури з дельта-легованими та нанокомпозитними плівками. Виявлено суттєвий вплив величини вбудованого в SiO2 заряду, типу і рівня легування алмазоподібних вуглецевих плівок та вмісту в них sp3 фази, наявності структур з дельта-легованими та нанокомпозитними плівками на характер енергетичної зонної діаграми та процеси тунельного переносу електронів. Показано перспективність застосування таких структур в приладах субмікроннї мікро-та наноелектроніки, як твердотільної, так і вакуумної. Registration Date 2004-03-26 popup.nrat_date 2020-04-04 Close