Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0504U000167, Докторська дисертація На здобуття д.ф.-м.н. Дата захисту 26-03-2004 Статус Запланована Назва роботи Тунельна інжекція та емісія електронів в шаруватих напівпровідникових структурах на кремнії. Здобувач Євтух Анатолій Антонович, Керівник Литовченко Володимир Григорович Опонент Лисенко Володимир Сергійович Опонент Блонський Іван Васильович Опонент Ільченко Василь Васильович Опис Досліджені процеси тунельної інжекції в тверде тіло та тунельної емісії електронів в вакуум в шаруватих структурах на кремнії. Встановлено основні закономірності тунельного проходження електронів через надтонкі плівки двоокису кремнію і алмазоподібні вуглецеві плівки, шаруваті структури з дельта-легованими та нанокомпозитними плівками. Виявлено суттєвий вплив величини вбудованого в SiO2 заряду, типу і рівня легування алмазоподібних вуглецевих плівок та вмісту в них sp3 фази, наявності структур з дельта-легованими та нанокомпозитними плівками на характер енергетичної зонної діаграми та процеси тунельного переносу електронів. Показано перспективність застосування таких структур в приладах субмікроннї мікро-та наноелектроніки, як твердотільної, так і вакуумної. Дата реєстрації 2004-03-26 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити