Registration Number
0504U000249, Doctoral dissertation
Status
д.ф.-м.н.
Date
09-04-2004
popup.evolution
.
Title
Formation of structure and phase transformations during pulse laser condensation of metal, oxide and semiconductor films
Author
Bagmut Aleksandr Grigorievich,
popup.opponent Фірстов С.О.
popup.opponent Пузіков В.М.
popup.opponent Бакай О.С.
popup.rada
Kharkov National University named after V.N. Karazin
Description
Об'єкт - процес формування структури і фазові перетворення при імпульсній лазерній конденсації металевих, оксидних і напівпровідникових плівок; мета - розв'язання проблеми механ(зм(в формування і фазових перетворень в пл(вках, осаджених (мпульсним лазерним розпиленням; методи - електронографія, трансмісійна електронна мікроскопія, мессбауеровська спектроскопія і спектроскопія зворотного резерфордівського розсіювання іонів. Результати, новизна - Вперше встановлено фізичні закономірності процесів формування структури при дискретному осадженні на підкладку пароплазмового потоку, сформованого імпульсним лазерним розпиленням одноелементних металевих і напівпровідникових мішеней, а також досліджено структурні і фазові перетворення у плівках у постконденсаційний період. Запропоновано моделі і встановлено умови утворення епітаксійних, полікристалічних і аморфізованих газонасичених конгломератних структур. Детально досліджено стадії росту й експериментально обґрунтовано модель поверхні епітаксіального лазерного конденсату, що визначає структурні перебудови при подальшому відпалі чи при природному старінні. На підставі узагальнення всіх отриманих даних уперше виявлені і класифіковані основні типи структурних і фазових станів, характер нерівноважності і типи релаксаційних процесів, що протікають у постконденсаційний період у лазерних конденсатах з різним ступенем хімічної активності. Галузь використання - фізика тонких плівок.
Registration Date
2004-05-18
popup.nrat_date
2020-04-04 / 2026-06-30
