Registration Number
0509U000775, Doctoral dissertation
Status
д.ф.-м.н.
Date
28-12-2009
popup.evolution
.
Title
Analysis, synthesis and diagnostics of complicated radiation-induced and multilayer systems on the surface of solids
Author
Galuza Oleksiy Anatoliyovich,
popup.head Belyaeva Alla Ivanovna
popup.opponent Неклюдов Іван Матвійович
popup.opponent Азарєнков Микола Олексійович
popup.opponent Мамалуй Андрій Олександрович
popup.opponent Береснєв В'ячеслав Мартинович
popup.rada
Institute of electrophysics and radiation technologies NASU
Description
Об'єкт: складні радіаційно-індуковані утворення та багатошарові системи на поверхні твердих тіл. Мета: створення комплексного неруйнівного підходу до аналізу, синтезу та діагностики складних, зокрема багатошарових тонкоплівкових структур на поверхні твердих тіл, вивчення впливу радіаційних факторів на фізичні властивості поверхневих шарів твердих тіл. Методи: еліпсометрія, рефлектометрія, інтерферометрія, оптична мікроскопія, Оже-аналіз, мас-спектроскопія й електронна мікроскопія, оптимізація та математична статистика. Результати: вперше комплекс кількісних оптичних методик застосовано для систематичного дослідження впливу радіаційних факторів на структуру й склад поверхні металів і сплавів. Показано, що еліпсометрія дає можливість досліджувати процес розвитку дефектної структури на поверхні опромінених металів і сплавів на початкових стадіях, коли інші неруйнівні методики ще не дають змоги цього робити. Показано, що у випадку радіаційної природи пошкоджень поверхневого шару традиційні моделі обробки еліпсометричних даних, засновані на однорідних шарах, можуть давати фізично некоректні результати. Уперше для моделювання поверхні металів і сплавів після радіаційної обробки іонами дейтерію на підставі еліпсометричних даних використано моделі неоднорідних шарів. Показано, що тільки в цьому випадку вдається побудувати фізично несуперечливу картину розвитку дефектної структури. Галузь використання: фізика твердого тіла, фізика тонких плівок, радіаційна фізика
Registration Date
2009-12-29
popup.nrat_date
2020-04-04 / 2026-06-30