Search academic texts

Information × Registration Number 0510U000474, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 21-05-2010 popup.evolution o Title Defects formation of in layered structures silicon dioxide-silicon and metal-silicon. Author Kulinich Oleg Anatoliyevich, popup.head Smyntyna Valentin Andreevich popup.opponent Вікулін Іван Михайлович popup.opponent Сергєєва Олександра Євгеніївна popup.opponent Марончук Ігор Євгенійович Description Дисертаційна робота присвячена з'ясуванню закономірностей процессів дефектоутворення в шаруватих структурах діоксид кремнію-кремній і метал-кремній і приладних системах на їх основі, встановленню механізмів впливу дефектів на електрофізичні характеристики, моделюванню процесів струмоперенесення в цих структурах та системах. За допомогою теоретичних та експериментальних методів сучасних досліджень встановлено властивості та запропоновано топологічну модель реальної МОН-структури, яка основана на дослідженні механізма утворення пластичної деформації на межі поділу діоксид кремнію-кремній, що призводить до виникнення дефектів в перехідної області кремнію. Registration Date 2010-05-21 popup.nrat_date 2020-04-04 Close