Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0510U000474, Докторська дисертація На здобуття д.ф.-м.н. Дата захисту 21-05-2010 Статус Запланована Назва роботи Дефектоутворення в шаруватих структурах діоксид кремнію кремній та метал-кремній Здобувач Кулініч Олег Анатолійович, Керівник Сминтина Валентин Андрійович Опонент Вікулін Іван Михайлович Опонент Сергєєва Олександра Євгеніївна Опонент Марончук Ігор Євгенійович Опис Дисертаційна робота присвячена з'ясуванню закономірностей процессів дефектоутворення в шаруватих структурах діоксид кремнію-кремній і метал-кремній і приладних системах на їх основі, встановленню механізмів впливу дефектів на електрофізичні характеристики, моделюванню процесів струмоперенесення в цих структурах та системах. За допомогою теоретичних та експериментальних методів сучасних досліджень встановлено властивості та запропоновано топологічну модель реальної МОН-структури, яка основана на дослідженні механізма утворення пластичної деформації на межі поділу діоксид кремнію-кремній, що призводить до виникнення дефектів в перехідної області кремнію. Дата реєстрації 2010-05-21 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити