Search academic texts

Information × Registration Number 0516U000717, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 01-09-2016 popup.evolution o Title Ellipsometry of ultrathin film structures Author Kostruba Andriy Mykhaylovych, popup.head Vlokh Rostyslav Orestovych popup.opponent Одулов Сергій Георгійович popup.opponent Ушенко Олександр Григорович popup.opponent Кушнір Олег Степанович Description Вперше вирішено проблему незалежного визначення товщини і показника заломлення прозорих ультратонких плівкових структур в умовах низького оптичного контрасту на поверхні плівка-підкладка. Запропоновано оригінальний метод вимірювань і розв'язування оберненої задачі еліпсометрії для системи "ультратонка прозора плівка - прозора підкладка" в діапазоні товщини 1,0-20,0 нм. Вперше показано, що методика розрахунку середньоквадратичної похибки дозволяє об'єднати аналіз чутливості еліпсометричних вимірювань із кореляційним аналізом при одночасному визначенні трьох параметрів ультратонкої поглинаючої плівки. Проведено апробацію запропонованих методик. Registration Date 2016-09-01 popup.nrat_date 2020-04-03 Close