Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0516U000717, Докторська дисертація На здобуття д.ф.-м.н. Дата захисту 01-09-2016 Статус Запланована Назва роботи Еліпсометрія ультратонких плівкових структур Здобувач Коструба Андрій Михайлович, Керівник Влох Ростислав Орестович Опонент Одулов Сергій Георгійович Опонент Ушенко Олександр Григорович Опонент Кушнір Олег Степанович Опис Вперше вирішено проблему незалежного визначення товщини і показника заломлення прозорих ультратонких плівкових структур в умовах низького оптичного контрасту на поверхні плівка-підкладка. Запропоновано оригінальний метод вимірювань і розв'язування оберненої задачі еліпсометрії для системи "ультратонка прозора плівка - прозора підкладка" в діапазоні товщини 1,0-20,0 нм. Вперше показано, що методика розрахунку середньоквадратичної похибки дозволяє об'єднати аналіз чутливості еліпсометричних вимірювань із кореляційним аналізом при одночасному визначенні трьох параметрів ультратонкої поглинаючої плівки. Проведено апробацію запропонованих методик. Дата реєстрації 2016-09-01 Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити
Дисертація докторська
Еліпсометрія ультратонких плівкових структур
1
Коструба Андрій Михайлович. Еліпсометрія ультратонких плівкових структур : д.ф.-м.н. : спец.. 01.04.05 - Оптика, лазерна фізика : дата захисту 2016-09-01; Статус: Захищена; Інститут фізичної оптики імені О.Г. Влоха Міністерства освіти і науки України. – , 0516U000717.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-21


Роздрукувати цю сторінку