Search academic texts

Information × Registration Number 0593U000341, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 27-09-1993 popup.evolution o Title Author Павленко Анатолий Алексеевич, popup.head Токаревский В.В. popup.head Гриник Э.У. popup.opponent Новиков Н.Н. popup.opponent Комащенко В.Н. popup.opponent Бржезинский В.А. Description Объект исследования: Кремний и приборы на основе кремния и арсенида галлия. Цель исследования: Разрабока ядерных методов легирования и геттерирования. Методы исследования и аппаратура: Ядерные установки и электрофизические мтеоды исследования. Теоретические результаты и новизна: Физические основы новых методов. Практические результаты и новизна: Новые практические способы ядерного легирования и геттерирования. Предмет и степень внедрения: Методы геттерирования внедрены на предпряитиях "Сатурн" и "Орион". Эффективность внедрения: 242 тыс. руб. в ценах 1988 г. Сфера (область) использования: Электронная промышленность. Registration Date 1993-03-10 popup.nrat_date 2021-03-17 Close