Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0593U000341, Докторська дисертація На здобуття д.ф.-м.н. Дата захисту 27-09-1993 Статус Запланована Назва роботи Использование пучков заряженных частиц для ядерного легирования кремния и разработка методов радиационного геттерирования полупроводниковых СВЧ-приборов Здобувач Павленко Анатолий Алексеевич, Керівник Токаревский В.В. Керівник Гриник Э.У. Опонент Новиков Н.Н. Опонент Комащенко В.Н. Опонент Бржезинский В.А. Опис Объект исследования: Кремний и приборы на основе кремния и арсенида галлия. Цель исследования: Разрабока ядерных методов легирования и геттерирования. Методы исследования и аппаратура: Ядерные установки и электрофизические мтеоды исследования. Теоретические результаты и новизна: Физические основы новых методов. Практические результаты и новизна: Новые практические способы ядерного легирования и геттерирования. Предмет и степень внедрения: Методы геттерирования внедрены на предпряитиях "Сатурн" и "Орион". Эффективность внедрения: 242 тыс. руб. в ценах 1988 г. Сфера (область) использования: Электронная промышленность. Дата реєстрації 1993-03-10 Додано в НРАТ 2021-03-17 Закрити