Search academic texts

Information × Registration Number 0598U000227, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 11-06-1998 popup.evolution o Title Author Теплов Сергей Владимирович, popup.head Бажин А.И. popup.opponent Нестеренко Б.А. popup.opponent Фельдман Э.П. popup.opponent Коваль А.Г. Description Объект исследования: Поверхность твердого тела. Цель исследования: Анализ элементного сотава и структуры. Методы исследования и аппаратура: Бомбардировка поверхности ионными пучками, компьютерное моделирование. Теоретические результаты и новизна: Разработаны модели механизмов взаимодействияионов с поверхностью. Практические результаты и новизна: Новые методы анализа поверхности и ее модификации. Предмет и степень внедрения: Алгоритмы обработки экспериментальных данных внедрены в ряде университетов и институтов. Эффективность внедрения: Высокая. Сфера (область) использования: Анализ материалов микроэлектроники. Registration Date 1998-06-11 popup.nrat_date 2020-05-17 Close