Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0598U000227, Докторська дисертація На здобуття д.ф.-м.н. Дата захисту 11-06-1998 Статус Запланована Назва роботи Моделирование механизма взаимодействия ионов средних энергий с твердым телом применительно к анализу поверхности и ее модификации Здобувач Теплов Сергей Владимирович, Керівник Бажин А.И. Опонент Нестеренко Б.А. Опонент Фельдман Э.П. Опонент Коваль А.Г. Опис Объект исследования: Поверхность твердого тела. Цель исследования: Анализ элементного сотава и структуры. Методы исследования и аппаратура: Бомбардировка поверхности ионными пучками, компьютерное моделирование. Теоретические результаты и новизна: Разработаны модели механизмов взаимодействияионов с поверхностью. Практические результаты и новизна: Новые методы анализа поверхности и ее модификации. Предмет и степень внедрения: Алгоритмы обработки экспериментальных данных внедрены в ряде университетов и институтов. Эффективность внедрения: Высокая. Сфера (область) использования: Анализ материалов микроэлектроники. Дата реєстрації 1998-06-11 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити