Search academic texts

Information × Registration Number 0599U000274, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 02-07-1999 popup.evolution o Title Structural Transformations in Surface Layers of the Silicon and Silicon-Oxygen Phase Author Lisovs'kyj Igor Petrovych, popup.opponent Бабич В.М. popup.opponent Литовченко П.Г. popup.opponent Крайчинський Анатолій Миколайович Description Області склоподібної кремній-кисневої фази в кремнієвих планарних системах. Встановити фізичні механізми зміни структурного стану атомів кисню. Методами дослідження є ІЧ- та Оже-спектроскопія, еліпсометрія, фотоінжекція, мас-спектрометрія вторинних іонів, комп'ютерне моделювання структури. Досліджено зв'язок між властивостями кремній-кисневої фази та структурним станом кисню. Запропоновані фізичні моделі відповідних структурних перетворень. Сферою використання є мікроелектроніка. Registration Date 1999-07-02 popup.nrat_date 2020-05-17 Close