Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0599U000274, Докторська дисертація На здобуття д.ф.-м.н. Дата захисту 02-07-1999 Статус Запланована Назва роботи Структурні перетворення в поверхневих шарах кремнієвої та кремній-кисневої фази Здобувач Лісовський Ігор Петрович, Опонент Бабич В.М. Опонент Литовченко П.Г. Опонент Крайчинський Анатолій Миколайович Опис Області склоподібної кремній-кисневої фази в кремнієвих планарних системах. Встановити фізичні механізми зміни структурного стану атомів кисню. Методами дослідження є ІЧ- та Оже-спектроскопія, еліпсометрія, фотоінжекція, мас-спектрометрія вторинних іонів, комп'ютерне моделювання структури. Досліджено зв'язок між властивостями кремній-кисневої фази та структурним станом кисню. Запропоновані фізичні моделі відповідних структурних перетворень. Сферою використання є мікроелектроніка. Дата реєстрації 1999-07-02 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити
Дисертація докторська
Структурні перетворення в поверхневих шарах кремнієвої та кремній-кисневої фази
Лісовський Ігор Петрович. Структурні перетворення в поверхневих шарах кремнієвої та кремній-кисневої фази : д.ф.-м.н. : спец.. 01.04.10 - Фізика напівпровідників і діелектриків : дата захисту 1999-07-02; Статус: Захищена; Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. – , 0599U000274.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-17


Роздрукувати цю сторінку