Search academic texts

Registration Number

0599U000371, Doctoral dissertation

Status

д.ф.-м.н., 01.04.10, Фізика напівпровідників і діелектриків

Date

10-09-1999

popup.evolution

o

Title

Adsorption sensitivity of semiconductor thin films of А2В6 group, oxides of heavy metals and porous silicon with a real surface with a cluster structure.

Author

Vashpanov Yurij Oleksandrovych,

popup.head Сминтина Валентин Андрійович
popup.opponent Литовченко Володимир Григорович
popup.opponent Ільченко Василь Васильович
popup.opponent Курмашов Шаміль Джамашович

Description

В дисертації подано результати досліджень адсорбційної чутливості напівпровідникових матеріалів групи А2В6, оксидів важких металів і пористого кремнію. Встановлено, що високу адсорбційну чутливість мають зразки, що леговані і містять на поверхні кластери, одержані методом поверхневого легування та іонної імплантації атомів важких металів і спеціально обробленої поверхні пористого кремнію. Розроблено фізичні моделі адсорбційної чутливості матеріалів, на основі якої проводився цілеспрямований пошук технології виготовлення газових сенсорів.

popup.nrat_date

2020-05-17