Search academic texts

Information × Registration Number 0599U000371, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 10-09-1999 popup.evolution o Title Adsorption sensitivity of semiconductor thin films of А2В6 group, oxides of heavy metals and porous silicon with a real surface with a cluster structure. Author Vashpanov Yurij Oleksandrovych, popup.head Сминтина Валентин Андрійович popup.opponent Литовченко Володимир Григорович popup.opponent Ільченко Василь Васильович popup.opponent Курмашов Шаміль Джамашович Description В дисертації подано результати досліджень адсорбційної чутливості напівпровідникових матеріалів групи А2В6, оксидів важких металів і пористого кремнію. Встановлено, що високу адсорбційну чутливість мають зразки, що леговані і містять на поверхні кластери, одержані методом поверхневого легування та іонної імплантації атомів важких металів і спеціально обробленої поверхні пористого кремнію. Розроблено фізичні моделі адсорбційної чутливості матеріалів, на основі якої проводився цілеспрямований пошук технології виготовлення газових сенсорів. Registration Date 1999-09-10 popup.nrat_date 2020-05-17 Close