Search academic texts

Information × Registration Number 0824U002996, PhD dissertation Status Доктор філософії Date 05-09-2024 popup.evolution o Title Properties of nanocomposite films with silicon nanoclusters and metal (Al) inclusions in the oxynitride matrix Author Yaroslav Y. Muryi, popup.head Anatolii A. Yevtukh popup.opponent Oleksii M. Nazarov popup.opponent Ihor T. Kohut popup.review Iryna V. Havrylchenko popup.review Oleksii V. Kozynets Description На сьогоднішній день значна кількість досліджень присвячена збагаченим кремнієм плівкам SiOx і нанокомпозитним плівкам SiO2(Si), що містять нанокристали Si в оксидній матриці. Великий науковий інтерес до таких плівок обумовлено захопленням ними заряду і здатністю випромінювати світло, що є дуже привабливим, зокрема, для застосування в наноелектроніці та оптоелектроніці на основі Si, а саме для енергонезалежної нанокристалічної та резистивної пам’яті, фотодіодів, сонячних елементів, польових емісійних катодів тощо. Формування нанокристалів Si в матриці аморфного оксинітриду кремнію (SiOxNy) є дуже перспективним підходом для отримання нанокомпозитних структур на основі кремнію. Можливість контролювати властивості SiOxNy шляхом регулювання кількості та співвідношення кисню та азоту є причиною широкого застосування цього матеріалу для багатошарових структур зі змінним показником заломлення, хвилеводів, поверхневих пасиваційних шарів та покриття медичних імплантатів. Регулювання показника заломлення робить SiOxNy добре придатним для оптичних застосувань. Інший клас оксидних плівок, а саме оксидів металів, представлений широкою різноманітністю функціональних матеріалів для багатьох застосувань, включаючи сенсорику, зберігання енергії, каталіз, оптоелектроніку, фотоніку тощо. Registration Date 2024-09-02 popup.nrat_date 2024-09-02 Close