Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0824U002996, Дисертація доктора філософії

На здобуття

Доктор філософії, 105, Прикладна фізика та наноматеріали

Дата захисту

05-09-2024

Статус

Наказ про видачу диплома

Назва роботи

Властивості нанокомпозитних плівок з нанокластерами кремнію та включеннями металу (Al) в оксинітридній матриці

Здобувач

Мурий Ярослав Юрійович,

Керівник Євтух Анатолій Антонович
Опонент Назаров Олексій Миколайович
Опонент Когут Ігор Тимофійович
Рецензент Гаврильченко Ірина Валеріївна
Рецензент Козинець Олексій Володимирович

Опис

На сьогоднішній день значна кількість досліджень присвячена збагаченим кремнієм плівкам SiOx і нанокомпозитним плівкам SiO2(Si), що містять нанокристали Si в оксидній матриці. Великий науковий інтерес до таких плівок обумовлено захопленням ними заряду і здатністю випромінювати світло, що є дуже привабливим, зокрема, для застосування в наноелектроніці та оптоелектроніці на основі Si, а саме для енергонезалежної нанокристалічної та резистивної пам’яті, фотодіодів, сонячних елементів, польових емісійних катодів тощо. Формування нанокристалів Si в матриці аморфного оксинітриду кремнію (SiOxNy) є дуже перспективним підходом для отримання нанокомпозитних структур на основі кремнію. Можливість контролювати властивості SiOxNy шляхом регулювання кількості та співвідношення кисню та азоту є причиною широкого застосування цього матеріалу для багатошарових структур зі змінним показником заломлення, хвилеводів, поверхневих пасиваційних шарів та покриття медичних імплантатів. Регулювання показника заломлення робить SiOxNy добре придатним для оптичних застосувань. Інший клас оксидних плівок, а саме оксидів металів, представлений широкою різноманітністю функціональних матеріалів для багатьох застосувань, включаючи сенсорику, зберігання енергії, каталіз, оптоелектроніку, фотоніку тощо.

Дата реєстрації

2024-09-02

Додано в НРАТ

2024-09-02