Search academic texts

Information × Registration Number 2110U000239, Article popup.category Стаття Title popup.author popup.publication 01-01-2010 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270 popup.publisher Изд-во СумГУ Description Досліджувалося високочастотне індуктивне іонне джерело без магнітного поля, що працює на частоті 27,12 МГц. Діаметр розрядної камери джерела дорівнює 3 см, довжина – 8 см. Вимірювалися зовнішні електричні параметри джерела, такі як антенний струм і напруга на антені, в діапазоні ВЧ-потужності 10÷400 Вт і тиску газу (аргон) 0,1÷1 Па. Використовуючи трансформаторну модель індуктивного ВЧ-розряду, визначено ефективність введення ВЧ-потужності в плазму іонного джерела. При тиску аргону 0,5 Па і ВЧ-потужності в інтервалі 50÷400 Вт в плазму вводиться близько 75 % потужності. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270 popup.nrat_date 2025-03-24 Close