Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2110U000239, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов Автор Дата публікації 01-01-2010 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270 Видання Изд-во СумГУ Опис Досліджувалося високочастотне індуктивне іонне джерело без магнітного поля, що працює на частоті 27,12 МГц. Діаметр розрядної камери джерела дорівнює 3 см, довжина – 8 см. Вимірювалися зовнішні електричні параметри джерела, такі як антенний струм і напруга на антені, в діапазоні ВЧ-потужності 10÷400 Вт і тиску газу (аргон) 0,1÷1 Па. Використовуючи трансформаторну модель індуктивного ВЧ-розряду, визначено ефективність введення ВЧ-потужності в плазму іонного джерела. При тиску аргону 0,5 Па і ВЧ-потужності в інтервалі 50÷400 Вт в плазму вводиться близько 75 % потужності. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити