Search academic texts

Information × Registration Number 2110U000790, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2010 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064 popup.publisher Видавництво СумДУ Description Розроблений автоматизований комплекс призначений для серійного виробництва тонкоплівкових тензодатчиків з коефіцієнтом тензочутливості до 20 одиниць методом термічного випаровування у вакуумі на полістироловій підкладці. Як чутливі елементи тензодатчиків можуть виступати двошарові плівки Cu/Cr з товщиною окремих шарів до 30 нм. Для вимірювання товщини плівок застосовується метод кварцового резонатора, який при реалізації двокварцової системи дозволяє встановити необхідну швидкість конденсації до початку конденсації плівки на підкладку та контролювати її товщину безпосередньо під час експерименту. Процес конденсації плівки контролюється за допомогою екрану, який закриває підкладку та пластину кварцу і приводиться в рух електромагнітом. Дана система дозволяє отримати в автоматичному режимі тонкоплівкові зразки заданої товщини з точністю +- 1 нм. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064 popup.nrat_date 2025-05-12 Close