Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2110U000790, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Thesis Назва роботи Застосування автоматизованого комплексу для серійного виробництва тонкоплівкових металевих тензодатчиків Автор Дата публікації 01-01-2010 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064 Видання Видавництво СумДУ Опис Розроблений автоматизований комплекс призначений для серійного виробництва тонкоплівкових тензодатчиків з коефіцієнтом тензочутливості до 20 одиниць методом термічного випаровування у вакуумі на полістироловій підкладці. Як чутливі елементи тензодатчиків можуть виступати двошарові плівки Cu/Cr з товщиною окремих шарів до 30 нм. Для вимірювання товщини плівок застосовується метод кварцового резонатора, який при реалізації двокварцової системи дозволяє встановити необхідну швидкість конденсації до початку конденсації плівки на підкладку та контролювати її товщину безпосередньо під час експерименту. Процес конденсації плівки контролюється за допомогою екрану, який закриває підкладку та пластину кварцу і приводиться в рух електромагнітом. Дана система дозволяє отримати в автоматичному режимі тонкоплівкові зразки заданої товщини з точністю +- 1 нм. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4064 Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити