Search academic texts

Information × Registration Number 2112U000650, Article popup.category Стаття Title popup.author popup.publication 01-01-2012 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29625 popup.publisher Сумский государственный университет Description Исследовался высокочастотный (ВЧ) индуктивный ионный источник, работающий на частоте 27,12 МГц. Используя глобальную модель аргонового разряда, рассчитана плотность плазмы, электронная температура и плотность ионного тока ВЧ-источника в зависимости от поглощенной ВЧ-мощности и давления газа при изменении размеров разрядной камеры. Установлено, что плотность тока ионного пучка возрастает при уменьшении размеров разрядной камеры. Расчеты показывают, что в индуктивном источнике с разрядной камерой диаметром 30 мм и длиной 35 мм при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности и давлении аргона 7 мТорр плотность ионного тока равна 40 мА/см2, что хорошо согласуется с экспериментально измеренной величиной 43 мА/см2. При уменьшении диаметра разрядной камеры до 15 мм плотность ионного тока может достигать величины 85 мА/см2 при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29625 popup.nrat_date 2025-03-24 Close