Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2112U000650, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Расчет плотности ионного тока индуктивного высокочастотного источника ионов Автор Дата публікації 01-01-2012 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29625 Видання Сумский государственный университет Опис Исследовался высокочастотный (ВЧ) индуктивный ионный источник, работающий на частоте 27,12 МГц. Используя глобальную модель аргонового разряда, рассчитана плотность плазмы, электронная температура и плотность ионного тока ВЧ-источника в зависимости от поглощенной ВЧ-мощности и давления газа при изменении размеров разрядной камеры. Установлено, что плотность тока ионного пучка возрастает при уменьшении размеров разрядной камеры. Расчеты показывают, что в индуктивном источнике с разрядной камерой диаметром 30 мм и длиной 35 мм при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности и давлении аргона 7 мТорр плотность ионного тока равна 40 мА/см2, что хорошо согласуется с экспериментально измеренной величиной 43 мА/см2. При уменьшении диаметра разрядной камеры до 15 мм плотность ионного тока может достигать величины 85 мА/см2 при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29625 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити